超高純度 朗盛升級(jí)電子行業(yè)除氧用離子交換樹(shù)脂產(chǎn)品
來(lái)源:朗盛 2021年09月29日
上海,2021年9月28日——特殊化學(xué)品公司朗盛升級(jí)了其用于電子行業(yè)除氧應(yīng)用的Lewatit K 7333離子交換樹(shù)脂?,F(xiàn)在,改進(jìn)的聚合物基質(zhì)與改性的配方相結(jié)合,可以生產(chǎn)出純度最高的摻鈀強(qiáng)堿性陰離子交換劑,該產(chǎn)品可用于生產(chǎn)半導(dǎo)體制造和晶圓拋光工藝所需的超純水(UPW)。在這一領(lǐng)域,只能使用經(jīng)過(guò)特殊凈化的離子交換劑來(lái)生產(chǎn)純度極高的水。
作為離子交換樹(shù)脂的領(lǐng)先制造商之一,朗盛致力于通過(guò)這種新型產(chǎn)品在電子行業(yè)獲得更多客戶(hù),并鞏固其市場(chǎng)地位。
面向開(kāi)拓性應(yīng)用升級(jí)成功產(chǎn)品
近年來(lái),離子交換劑已成功用于催化去除工藝水中的氧氣。“含氧水流經(jīng)載有Lewatit K 7333的過(guò)濾器。在逆流中,氫氣通過(guò)過(guò)濾器。摻鈀離子交換劑在這里起到催化劑的作用。在‘冷燃燒’過(guò)程中,氫氣和氧氣反應(yīng)生成水。”朗盛液體凈化技術(shù)(LPT)業(yè)務(wù)部技術(shù)營(yíng)銷(xiāo)經(jīng)理Hans-Jürgen Wedemeyer介紹道。
Lewatit K 7333的另一個(gè)應(yīng)用是在沒(méi)有氫氣的情況下催化去除H2O2(過(guò)氧化氫)。這項(xiàng)技術(shù)越來(lái)越多地用于生產(chǎn)超純水。以這種方式生產(chǎn)的質(zhì)量更高的超純水目前的需求量比較大,因?yàn)閷?duì)于半導(dǎo)體行業(yè)中越來(lái)越小的模塊間隔,殘留離子含量被限定在ppt/ppq范圍內(nèi)。理想情況下,TOC(總有機(jī)碳)含量應(yīng)處于檢測(cè)限。“隨著模塊的增強(qiáng)和完善,對(duì)水的純度要求越來(lái)越嚴(yán)格,這意味著大幅減少納米范圍內(nèi)的顆粒數(shù)量越來(lái)越重要。”Wedemeyer說(shuō)道。
為了達(dá)到這些非常低的值,需要使用特殊的紫外燈。這種燈可以氧化水中的任何殘留有機(jī)物,產(chǎn)生CO2。然后,離子交換劑吸收CO2,將其轉(zhuǎn)化為碳酸氫鹽。紫外燈處理過(guò)程中的一個(gè)副作用是會(huì)形成過(guò)氧化氫(輻解),損壞下游的離子交換劑。這將增加TOC,并在下游離子交換劑中形成顆粒。摻鈀Lewatit K 7333可將輻解形成的過(guò)氧化氫降至低ppt范圍,離子交換劑本身只會(huì)造成非常小的TOC、顆?;驓埩綦x子污染。
“這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)用于許多新工廠,并且正在現(xiàn)有工廠中進(jìn)行改進(jìn)。因此,我們預(yù)計(jì)對(duì)Lewatit K 7333離子交換劑的需求量會(huì)增加,以便我們滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)水純度日益嚴(yán)格的要求。”Wedemeyer說(shuō)道。
電子行業(yè)濕化學(xué)法必不可少的物質(zhì)——離子交換劑
在微電子元件和納米電子元件生產(chǎn)中,對(duì)于光刻涉及的晶圓加工或復(fù)雜的濕化學(xué)法而言,超純水是不可或缺的成分。上述工藝用于制造半導(dǎo)體組件,例如計(jì)算機(jī)處理器、存儲(chǔ)芯片、發(fā)光二極管(LED)、液晶(LC)和LED顯示器以及光伏模塊。超純水還用于微系統(tǒng)技術(shù),該技術(shù)用于制造和加工微泵、微電機(jī)和微閥所需的微型機(jī)械部件。超純水是防止或去除精密結(jié)構(gòu)中小至納米級(jí)的沉積物或雜質(zhì)的重要先決條件,這些物質(zhì)如果不去除,會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)故障和極高的廢品率。“隨著電子元件的尺寸越來(lái)越小,對(duì)超純水的質(zhì)量要求也在不斷提升。”Wedemeyer表示。
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